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炉管热电偶

冠纬科技以其在业界多年经验,为日本Furuya金属工业公司之独家代理商。Furuya公司在贵金属加工产业一向享有盛名,尤其在热电偶产品更是有其独特之处。根据西贝克效应(Seebeck Effect),当两种不同材质的金属导线端点互相连接并在两相接端点加上不同温度热源时,将会产生热电偶电动势,进而在两端点间产生热电流。因此若将其中一端点保持在某一恒定温度下,透过串接电压计之量测推算,将可获得另一端点之实际温度。此为目前针对极高温(摄式1000度左右)最精确及最有效率之温度量测办法。Furuya公司生产之热电偶产品均根据生产国-日本之JIS规范制造而成。

热电偶的型式

根据部同之量测环境与需求,热电偶大致分成以下几类:

1. 参考型热电偶(Reference Thermocouple) :此类热电偶主要用于量测扩散炉管(Diffusion Furnace)或化
汽相沉绩相观设备(CVD, Chemical Vapor Deposition)之内部腔体温度。此热电偶能应实际需求进行三点,五点或多点量测。

2. 置入式热电偶(Spike Thermocouple) : 此类热电偶主要用于控制扩散炉管(Diffusion Furnace)或化学汽相沉绩相观设备(CVD, Chemical Vapor Deposition) 之内部腔体温度。

3. 包覆式热电偶(Covered Thermocouple)

4. 细速热电偶(Sheathed Thermocouple)

5. 端点包覆式热电偶(Junction-protected Thermocouple)热电偶导线材质

依据不同的量测环境及需求,一般热电偶导线的分类如下

热电偶绝缘保护材质之选择:

由于热电偶之应用大多处于极端环境中(温度极高或极低),对于用贵重金属制成的热电偶导线之保护,将可保持温度量测之正确性以及热电偶之使用寿命。

绝缘管材质:

绝缘管(insulating tube)用于包覆于热电偶金属导线外侧以隔绝与温度量测不相关之环境干扰因素。

 

保护管材质:

保护管(Protecting tube)用于包覆整支热电偶,避免因装置或操作所造成的损害。并且保护整组热电偶总成。

热电偶之补偿导线:

此延伸导线(extension wire)用于连接热电偶建立接点之贵重金属导线与热电动势(thermal electromotive force)量测设备之接点。其主要功能在补偿及矫正任何因热电偶端点温度变异的误差。

热电偶之校正与规范。

Furuya司生产的热电偶产品均依据日本电气计器检定所(JEMIC , Japan Electric Meters Inspection Corp.)所规范的校正流程进行校正

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