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N2 Shield

N2-Shield 应用于半导体APCVD制程中,本公司的N2-Shield采一体成型,无螺丝设计,增加使用寿命,延长PMCycle TimeShiled的网面部分采特殊的加工法制成,每一网洞的大小及形状均一,使得我们的Shield在均匀度及沉积率方面的表现非常好,这是由我们许多的客户验证的结果,另外在各接缝处加强焊接,经由多次的Process Clean CycleShield的两侧档片亦不会因HF的强力清洗而脱落。

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